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CS100質量流量控制器&流量計
優勢
• CS100產品采用客戶定制化設計，
• 客戶可根據需要選用±15V雙電源或+24單電源供電;
• 金屬密封或橡膠密封;
• 產品尺寸可選用符合國際通用的SEMI標準的產品，也可選用緊縮型產品。
技術參數
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CS100 |
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類型 |
CS100A |
CS100D |
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閥類型 |
常閉 |
無 |
常閉 |
無 |
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流量規格(N2) |
(0～10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM |
(0～10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM |
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準確度 |
±1.0% S.P. (≥35% F.S.)； ±0.35% F.S.(＜35% F.S.) |
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線性 |
±0.5% F.S. |
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重復精度 |
±0.2% F.S. |
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響應時間 |
≤ 1sec |
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工作壓差范圍 |
0.05～0.35MPa； 流量規格≤10SLM |
＜0.02 MPa |
0.05～0.35MPa； 流量規格≤10SLM |
＜0.02 MPa |
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溫度系數 |
零點: ≤±0.05% F.S/℃； 調節時: ≤±0.1% F.S/℃ |
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耐壓 |
3MPa |
10MPa |
3MPa |
10MPa |
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漏率 |
1×10-9 Pa·m3 / sec He（1×10-8 atm·cc / sec He） |
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密封材料 |
氟橡膠 |
金屬密封 |
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最大工作壓力 |
0.45MPa |
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工作環境溫度 |
（5～45）℃ |
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輸入信號 |
模擬: |
數字: RS485 |
無 |
無 |
模擬: |
數字: RS485 |
無 |
無 |
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輸出信號 |
模擬: |
數字: RS485 |
模擬: (0～5)VDC |
數字: RS485 |
模擬: |
數字: RS485 |
模擬: |
數字: RS485 |
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電源接頭形式 |
D型9針 D型15針 |
D型9針 O型3針 |
D型15針 |
D型9針 D型15針 |
D型9針陽接頭； O型3針陽接頭 |
D型15針陽接頭 |
D型9針 D型15針 |
D型9針 O型3針 |
D型15針 |
D型9針 D型15針 |
D型9針陽接頭； O型3針陽接頭 |
D型15針陽接頭 |
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供電電源 |
±15V |
±15V |
+24V |
±15V |
±15V |
+24V |
±15V |
±15V |
+24V |
±15V |
±15V |
+24V |
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自動清零 |
支持 |
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表面粗糙度 |
25μinch Ra |
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標準接頭形式 |
雙卡套 φ6； 雙卡套φ3；雙卡套1/4´´；雙卡套1/8´´； VCR1/4´´陽接頭； φ6(內)x1軟管接頭;φ5(內)x1.5軟管接頭;φ4(內)x1軟管接頭 |
VCR1/4″陽接頭 |
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重量 |
1.2Kg |
1Kg |
1.2Kg |
1Kg |
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